小型ロータリーカソードは他社製のロータリーカソードとは異なり独創的なデザインを採用しており（特許申請中）、製矩形マグネトロンのスペースと同じになっており、既存の短形マグネトロンをロータリーマグネトロンに置き換える事が可能です。

Speedfloは最も先進的な反応性スパッタリングプロセスコントローラであり、反応性スパッタリングをフィードバック制御にて制御することよりスパッタリングレートの改善、複数のガス導入系（マルチゾーン）をリアルタイム制御する事による均一性の改善および正確なプロセスの監視等を行うことが可能になります。 先進的なフィードバックコントローラで反応性スパッタリングプロセスを最適化 成膜レート・膜質・プロセスの安定性を改善します。

差動排気機構なしで真空容器内のガス分析を高速で行います。（大気圧ガスのサンプリングにのみ差動排気機構が必要） RGA分析器と異なり、Optixでは真空雰囲気や化学物質から光学窓によって検出器が隔離されており、プロセスによる検出器の劣化が発生しない構造になっています。