機械式真空ポンプの一種で、金属製のタービン翼を持った回転体であるロータが高速回転し、気体分子を弾き飛ばすことによりガスを排気するポンプです。半導体・FPD製造プロセスを代表として、幅広い分野に応用されています。

赤外線サーモグラフィは、物体に触れず、離れたところから温度を測定することができます。

特高から低圧まで、変電設備に必要なあらゆる装置・機器をラインアップし電力の安定供給に貢献しています。

Speedfloは最も先進的な反応性スパッタリングプロセスコントローラであり、反応性スパッタリングをフィードバック制御にて制御することよりスパッタリングレートの改善、複数のガス導入系（マルチゾーン）をリアルタイム制御する事による均一性の改善および正確なプロセスの監視等を行うことが可能になります。 先進的なフィードバックコントローラで反応性スパッタリングプロセスを最適化 成膜レート・膜質・プロセスの安定性を改善します。