差動排気機構なしで真空容器内のガス分析を高速で行います。（大気圧ガスのサンプリングにのみ差動排気機構が必要） RGA分析器と異なり、Optixでは真空雰囲気や化学物質から光学窓によって検出器が隔離されており、プロセスによる検出器の劣化が発生しない構造になっています。

業界随一の多様な矩形プレーナマグネトロンソースを内部取付け方式および外部フランジ取付け方式に関わらず提供しています。 また、マグネットオプションは他社の追随を許さないほどの多様な オプションを用意しており、お客様の成膜要件に最適化したオプションを提供し続けています。 3D CADによる柔軟な設計手法により、標準品だけでなく複雑なカスタマイズ製品にも幅広く対応しています。 高効率型（HY）マグネットオプションは最も標準的に製造しているマグネットオプションになり、製造期間の延長化や材料費の低減が要求される製造設備に最もお勧めできるマグネットオプションです。

小型ロータリーカソードは他社製のロータリーカソードとは異なり独創的なデザインを採用しており（特許申請中）、製矩形マグネトロンのスペースと同じになっており、既存の短形マグネトロンをロータリーマグネトロンに置き換える事が可能です。