ロータリーマグネトロンカソード

製品案内

取扱メーカー：: GENCOA

製品を探す

すべての製品

業界・分野から探す

取扱メーカーから探す

岩崎電気株式会社

キーワードから探す

よく検索されているキーワード

閉じる

製品を探す

小型ロータリーカソードは他社製のロータリーカソードとは異なり独創的なデザインを採用しており（特許申請中）、製矩形マグネトロンのスペースと同じになっており、既存の短形マグネトロンをロータリーマグネトロンに置き換える事が可能です。

特徴

生産性の向上

小型でも高い冷却性能、3/4ｲﾝﾁ内径パイプ、ターゲット内面直接冷却小さいスペースでも高電力対応、メタライジングにも最適高いレートと小型スペースにより装置サイズの小型化実現可能

マグネット

他社にはない多くのマグネットオプションが用意されており、特許を取得するなど、適したロータリーマグネトロンマグネットデザインを提供しています。多くの幾何学的オプションや磁場強度オプションを提供しており、すべてのマグネットオプションは、相互に交換可能であるため、同じマグネトロンを異なるプロセスに切替えて使用することが可能になっています。

フレキシビリティ

多様な使用方法、構成方法を提供しています。これによりご希望に応じてGRSシステムを構成することが可能です。

主なラインナップ

GRS-S

●重量に応じて最大1.2mの長さのターゲットが可能
●チャンバー開口部にドロップするように取り付けられたフランジ
●Ø75mm、Ø90、Ø100ターゲットの収容
●高流量用の1インチIDクイックリリース水接続
●RS-485インターフェースと可能なPLC統合を備えたDCモータドライブ
●電源接続:7/16経由のDC、またはハーティング経由のAC/DC
●最大15RPMの動作速度
●シングルまたはデュアルユニットは、単一のフランジプレートに取り付けることができます

GRS-C

●水平カンチレバーとして最大1.2m、アウトバウンドサポートで最大2.4mのターゲット
●チャンバーの外部に取り付けられたポート
●Ø90mm、Ø100mm、Ø125mm、Ø152-165mmターゲットの収容
●高流量用の3/4インチID水接続
●RS-485インターフェースと可能なPLC統合を備えたDCモータドライブ
●高電流ハーティング接続
●複数の基板位置またはターゲットクリーニングのための手動または電動アレイで位置決め
●最大15RPMの動作速度

GRS-V

●最大3mの長さのターゲット
●チャンバーの外部に取り付けられたポート
●Ø90、Ø100、Ø125、Ø152 mmターゲットの収容
●高流量用の3/4インチID水接続
●ターゲット回転のダイレクトドライブ – テンションベルトなし
●RS-485インターフェースと可能なPLC統合を備えたDCモータドライブ
●高電流ハーティング電源接続
●複数の基板位置またはターゲットクリーニングのための手動または電動アレイで位置決め
●最大15RPMの動作速度

GRS-M

●最大2mの長さのターゲットが可能で、重量に応じて大きく、重量に応じて向きに応じて大きくなります
●チャンバー開口部にドロップするように取り付けられたフランジ
●Ø152mmターゲットの収容
●高流量用の1インチIDクイックリリース水接続
●RS-485インターフェースと可能なPLC統合を備えたDCモータドライブ
●電源接続:7/16経由のDC、またはハーティング経由のAC/DC
●最大15RPMの動作速度
●シングルまたはデュアルユニットは、単一のフランジプレートに取り付けることができます
●アクティブアノード、マルチゾーンガス供給バー、ドライブ/水モニタリングを備えた完全なドロップイン