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機械式真空ポンプの一種で、金属製のタービン翼を持った回転体であるロータが高速回転し、気体分子を弾き飛ばすことによりガスを排気するポンプです。半導体・FPD製造プロセスを代表として、幅広い分野に応用されています。
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