機械式真空ポンプの一種で、金属製のタービン翼を持った回転体であるロータが高速回転し、気体分子を弾き飛ばすことによりガスを排気するポンプです。半導体・FPD製造プロセスを代表として、幅広い分野に応用されています。

高性能保冷剤を使用し、長時間にわたり保冷庫内の温度を一定に保つ省エネ型冷蔵庫及び冷凍設備です。 冷蔵・冷凍庫などで冷やして再利用する冷却再生型と自己再生機能を備えた 温度制御型の２機種を用意しております。

特許取得済みのサーモクロミック技術を使用して、電線の過剰温度で変色し、異常を知らせます。電線に簡単に取り付けられ、IRISSの赤外線ウィンドウを通して、赤外線や超音波検査の前または検査中に、視覚により温度異常を確認することができます。メモリー効果機能を備えた非導電性クリップにより、検査官は稼働中のシステムの過剰温度異常を確認することができます。

工作機械の先端のツーリングにチャッキングされて製品を精密に削る役目となる、超硬合金製の工具及びコイルセンター等で行われる板幅トリミングで使用されるトリマー刃。

汎用機だけではなくお客様のニーズに合致した集塵システムを構築することで、皆様がお持ちの課題を解決いたします。

工場用排水を汲み上げるための水中ポンプを取り扱っております。自動運転/非自動運転対応。 サンド用や残水用など、色々な環境に対応できる製品を取り扱っております。 センサー線を用いたオートポンプや高効率ポンプなど、環境に配慮した省エネポンプも取り揃えています。

リークディテクタは水素ガス、もしくはヘリウムガスを使った安全で扱いやすい漏れ検査装置です。 MSE-2400形シリーズはリークテストを行うための様々な特長と性能をもつリークディテクタです。 水素による漏れ検査についても対応いたします。

エアー漏れ・ガス漏れ・部分放電を可視化することができます。

産業向けに開発された第16族元素センサで、真空プロセスで使用される最も重要な材料である酸素、硫黄、セレンが含まれています。 基本的な用途は酸素レベルをサンプリングし、効率的な燃焼を確保するために自動車エンジンで使用されます。差動励起RGA(ノイズが少ない)と比較して、RGAおよび光スペクトル法からのガス出力をより高い感度で一致させます。

業界随一の多様な矩形プレーナマグネトロンソースを内部取付け方式および外部フランジ取付け方式に関わらず提供しています。 また、マグネットオプションは他社の追随を許さないほどの多様な オプションを用意しており、お客様の成膜要件に最適化したオプションを提供し続けています。 3D CADによる柔軟な設計手法により、標準品だけでなく複雑なカスタマイズ製品にも幅広く対応しています。 高効率型（HY）マグネットオプションは最も標準的に製造しているマグネットオプションになり、製造期間の延長化や材料費の低減が要求される製造設備に最もお勧めできるマグネットオプションです。