産業向けに開発された第16族元素センサで、真空プロセスで使用される最も重要な材料である酸素、硫黄、セレンが含まれています。 基本的な用途は酸素レベルをサンプリングし、効率的な燃焼を確保するために自動車エンジンで使用されます。差動励起RGA(ノイズが少ない)と比較して、RGAおよび光スペクトル法からのガス出力をより高い感度で一致させます。

小型ロータリーカソードは他社製のロータリーカソードとは異なり独創的なデザインを採用しており（特許申請中）、製矩形マグネトロンのスペースと同じになっており、既存の短形マグネトロンをロータリーマグネトロンに置き換える事が可能です。

Speedfloは最も先進的な反応性スパッタリングプロセスコントローラであり、反応性スパッタリングをフィードバック制御にて制御することよりスパッタリングレートの改善、複数のガス導入系（マルチゾーン）をリアルタイム制御する事による均一性の改善および正確なプロセスの監視等を行うことが可能になります。 先進的なフィードバックコントローラで反応性スパッタリングプロセスを最適化 成膜レート・膜質・プロセスの安定性を改善します。