機械式真空ポンプの一種で、金属製のタービン翼を持った回転体であるロータが高速回転し、気体分子を弾き飛ばすことによりガスを排気するポンプです。半導体・FPD製造プロセスを代表として、幅広い分野に応用されています。

ハードプロセス、ライトプロセス、大排気量、一般産業向けまで幅広く提案します。 ターボ分子ポンプと一緒に排気ユニットでの提案も可能です。

産業向けに開発された第16族元素センサで、真空プロセスで使用される最も重要な材料である酸素、硫黄、セレンが含まれています。 基本的な用途は酸素レベルをサンプリングし、効率的な燃焼を確保するために自動車エンジンで使用されます。差動励起RGA(ノイズが少ない)と比較して、RGAおよび光スペクトル法からのガス出力をより高い感度で一致させます。