機械式真空ポンプの一種で、金属製のタービン翼を持った回転体であるロータが高速回転し、気体分子を弾き飛ばすことによりガスを排気するポンプです。半導体・FPD製造プロセスを代表として、幅広い分野に応用されています。
特徴
油拡散ポンプからターボ分子ポンプへの置き換えにより環境負荷低減に貢献します。
定格回転時の消費電力を抑えることでランニングコストを削減。
オイルフリーによるクリーンなプロセスの実現。
主なラインナップ
新型ターボ分子ポンプTMP-V4404LMV
業界トップクラスの性能と環境に配慮した4,000L/sクラス初コーティング用途専用モデル
磁気軸受形ターボ分子ポンプ
●小型軽量ポンプとハーフラックサイズのデジタル制御電源装置で小型化に貢献
●高効率排気性能
●反応体制物に対しポンプ保護対応
[TMP-03シリーズ]
TMP-203LM/TMP-303LM/TMP-403LM/TMP-803LM(0)/TMP-1003LM/TMP-1303LM(0)/TMP-1503LM
[TMP-04シリーズ]
TMP-2404LMC/TMP-2804LMC/TMP-3304LMC(0)/TMP-3804LMC/TMP-4304LMC
磁気軸受形 電源一体化ターボ分子ポンプ
●ケーブル配線と制御ラックが不要
●排気性能の向上で省電力化
●操作部で状態確認をするローカル操作が可能
[TMP-V04シリーズ]
TMP-V1704LM/TMP-V2304LM/TMP-V2304LM/TMP-V3304LM
[TMP-X05シリーズ]
TMP-X1205LM/TMP-X1605LM/TMP-2905LM/TMP-X2905LMC/TMP-X3405LMC
高圧縮型ターボ分子ポンプ
●磁気軸受とセラミック軸受を組み合わせ、低振動及び冷却機能の省寿命を実現
●高背圧下での高真空排気が可能
●コントローラー一体型で全方位取付可能
[本体]
TMP-B70/TMP-B300
[オプション]
ベンディングバルブ/ガスパージアダプタ/ベーキングヒータ/冷却用オプション/空冷ファン/水冷ユニット
[電源付き表示ユニット]
EL-DPS240
高圧縮比ターボ分子ポンプ
●電源装置のメンテナンスフリー
●有害な水素分圧の上昇を防止
[本体]
TMP-1103MP/TMP-1103MPC/TMP-1103LMP/TMP-1103LMPC
[電源装置]
EL-1103MD
[オプション]
ベーキングヒーター/ラック取付金具
反応生物対応形広域ターボ分子ポンプ
●温度調節制御可能
●長期安定稼働
●47種の型式を用意
[標準仕様]
TMP-03/TMP-04/TMP-V04/TMP-X05シリーズ
