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ハードプロセス、ライトプロセス、大排気量、一般産業向けまで幅広く提案します。 ターボ分子ポンプと一緒に排気ユニットでの提案も可能です。
製品の特徴
６年に1度のメンテナンスサイクル(大気・N2吸引時推奨期間)※メーカ販売実績に基づく
縦型スクリューや特殊材料による高い耐食性/独自のスクリュー形状で省エネを実現/多彩なラインナップで全プロセスへ対応
省エネ、省フットプリント、あらゆる製造装置に組込みが可能
主なラインナップ
SDEシリーズ
耐プロセス・省エネ・大排気量対応
●型番：SDE90X/SDE120TX/SDE200/SDE303X/SDE603X/SDE1203TX/
SDE20N12TX/SDE30N20/SDE60N20
●最大排気速度：1,300～100,000L/min
●到達圧力：1.3～0.5
SDLシリーズ
●型番：SDL12E50/SDL20E50/SDL36E60/SDL3600
●最大排気速度：25,000～60,000
●到達圧力：0.8
MU-Xシリーズ
消費電力0.35㎾、A3以下の230×450㎜
●型番：MU100X/MU180X/MU300X/MU600X/MU1218X/MU20N18X
●最大排気速度：1,660～30,000
●到達圧力：1.5~0.5
MU-P/Hシリーズ
プロセス耐性、消費電力0.7kW
●型番：MU100P/H MU180P/H MU300P/H MU1218P/H MU20N18P/H MU30N18P/H
●最大排気速度：1660~50,000L/min
●到達圧力：3.0～0.5
NeoDryシリーズ
小型空冷ドライ真空ポンプ
●型番：NeoDry7E/NeoDry15E/NeoDry30E/NeoDry36E/
NeoDry60E/NeoDry100E/NeoDry300E
●最大排気速度：110～5,000
●到達圧力：5.0~0.3
LEH/LEMシリーズ
水蒸気や水滴を含んだ気体の排出に
●型番：LEM3/LEM6/LEM20MA/LEM40MA/LEH30MA,MS
LEH50MA,MS/LEH100MA,MS/LEH150MA,MS/LEH200MA,MS/LEH300MA,MS
●排気速度：3.4～250（50Hz)/4.2～300（60Hz)
●到達圧力：7.3×10³～2.3×10³
