リークディテクタは水素ガス、もしくはヘリウムガスを使った安全で扱いやすい漏れ検査装置です。 MSE-2400形シリーズはリークテストを行うための様々な特長と性能をもつリークディテクタです。 水素による漏れ検査についても対応いたします。
特徴
優れたバックグラウンド回復能力
高感度＆低バックグラウンドを実現する分析管270度傾向方式
実験用途から生産整備に至る幅広い分野で支持されています
ファインテスト全圧力領域にてテストポートヘリウム排気速度3L/s
オイルフリー/ダストフリー
クリーンルームに最適な非接触型構造ドライポンプ登載
高精度/高速タクトタイムを実現
バックグラウンドインターロックフィルターとヘリウムマネージメントシステムの提供
質量分析法による低圧法高感度水素リークテストの実現
水素リークテストとヘリウムリークテストのワンタッチ切り替え方式採用
主なラインナップ
島津質量分析計型全自動可搬形リークディテクタ MSE-2400
装置メンテナンスから組込用途まで幅広く対応する可搬形汎用機
●検出感度：10-13～100Pa・m3/s［He］
●検出ガス：水素/ヘリウム
●最大圧力：1000Pa
●ヘリウム排気速度：3L/s
島津質量分析計型全自動可搬形 ドライ型リークディテクタ MSE-2401
装置メンテナンスから装置組込用途まで幅広く対応する、
クリーンルームに最適な非接触型構造ドライポンプ内臓型のコンパクトな可搬形汎用機です。
●検出感度：10-13～100Pa・m3/s［He］
●検出ガス：水素/ヘリウム
●最大圧力：1000Pa
●ヘリウム排気速度：3L/s
島津質量分析計型全自動可搬形 ドライ型リークディテクタ MSE-2402/2403
装置メンテナンスから装置組込用途まで幅広く対応する、
クリーンルームに最適な非接触型構造ドライポンプ搭載型の可搬形汎用機
●検出感度：10-13～100Pa・m3/s［He］
●検出ガス：水素/ヘリウム
●最大圧力：1000Pa
●ヘリウム排気速度：3L/s
島津質量分析計型全自動据置 リークディテクタ MSE-3400/3410
島津質量分析計型電子デバイス専用 リークディテクタ MSE-4400
ボンビング法による半導体・電子部品である水晶振動子、
SAWフィルターや光通信デバイスのパッケージの気密試験用インライン検査機
