電圧制御スパッタ

Speedfloは最も先進的な反応性スパッタリングプロセスコントローラであり、反応性スパッタリングをフィードバック制御にて制御することよりスパッタリングレートの改善、複数のガス導入系（マルチゾーン）をリアルタイム制御する事による均一性の改善および正確なプロセスの監視等を行うことが可能になります。先進的なフィードバックコントローラで反応性スパッタリングプロセスを最適化成膜レート・膜質・プロセスの安定性を改善します。