高真空・超高真空・超超高真空条件までの全ての真空レベルに設計されています。 クリーンルーム条件下で生産され、それぞれの用途に合わせたオーダーメイドが可能です。高い純度に加え、高精度な機能と過度なプロセス条件下での耐久性が魅力です。
製品の特徴
アウトガスや摩擦によるパーティクル放出が無いように最適化されています。使用する材料の適切な選択と処理を行い、放出を最小限に抑えることが可能です。
すべてのバルブは開閉動作によって振動が発生しますが、プロファイリング機能を搭載し動きを制御しているため振動を最小限に収めます。
規定された動作を長い使用期間に渡り常に均一になるように設定されており、制御の複雑さも最小限に抑えることができます。
主なラインナップ
真空コントロールバルブ
●優れた圧力制御
●非常に高速な動作
●ローカス操作用のオンボードソフトウエア
●過酷な条件下でも信頼性の高いオペレーション
●型番：61.3/61.6/62.0/64.2/64.8/65.3/65.5/67.0/95.3
真空ゲートバルブ
●実証済みの信頼性の高い設計
●潤滑剤不要
●フェイルセーフ設計のVATLOCKテクノロジー
●権正奈ステンレス鋼ボディ
●高サイクルな対応設計
●型番：01.0/01.2/08.1/08.2/09.1/09.2/10.8/11.1/12.1/14.0/15.0/15.1/15.2/17.2/19.0/
19.1/19.2/47.1/47.2/48.1/48.2/64.2/64.8
真空アングルバルブ/インラインバルブ/シリンダーバルブ
●設計オプションの多さ
●高差圧に対する抵抗
●長期間メンテナンス扶養
●様々な用途に合わせて調節可能
●低コスト
●型番：21.4/24.4/24.5/25.0/25.1/25.2/26.4/26.5/28.4/29.0/29.1/29.2/54.1/59.0
真空トランスファーバルブ
●高サイクルタイム
●プロセスチャンバーの変形を防止
●300×3000㎜までの開口部サイズに最適
●有害ガスや高温の環境下でも高い信頼性
●緊急時にはロックにて施錠
●長寿命
●型番：02.4/02.7/04.2/04.3/05.2/05.3/06.1/06.3/06.6/06.8
真空トランスファードア
●圧倒的に短い開閉サイクル
●適応型リーク防止
●有害ガスや高温の環境下でも高い信頼性
●高い稼働率と簡単なメンテナンス
●安定した高サイクルパフォーマンス
●型番：06.6/06.8/07.0/07.7
