表面検査装置

概要

LSC-4000シリーズ表面検査装置
微小欠陥、低コントラスト欠陥の安定検出と欠陥濃度管理による高レベルな品質管理を実現。
LSC-6000シリーズ表面検査装置
高速ライン、広幅ラインにおける欠陥検出(品質管理)を、高画素/高速カメラにて実現。

特長

・検出感度を正常部に対する相対透過率(反射率)で定義する為、欠陥検出の再現性が高い欠陥の濃淡情報を用いた欠陥分類が可能。
・低コントラスト欠陥(スジ・ムラ・汚れ・横段等)の安定検出可能。
・スクラッチ(キズ)の安定検出可能。

その他

詳細については下記メーカーHPをご参照ください。
(株)メック│表面検査装置


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