ターボ分子ポンプ

概要

■電源一体型
・コンパクト
・省エネルギー
・ハードプロセスへの対応

■大流量型
・最大の排気流量
・優れた耐食性
・コンパクトな電源装置
・反応生成物対応(オプション)
・各種モニタ機能
・ネットワーク接続対応
・ポンプ回転数可変機能
・消費電力削減
・各種規格に適合

■高圧縮型
・水素圧縮比が106
・バッテリーレス磁気浮上のターボ分子ポンプ
・コンパクトなポンプ本体、電源装置
・チューニングフリー
・RS-232C準拠のシリアルインターフェースを標準装備
・CEマーキング、SEMI-S2、NRTLに適合

■FT-D型
・高背圧性能6倍向上
・同一圧力での排気流量アップ
・コンパクトなポンプ本体、電源装置
・高放射Ni複合メッキ採用により、大流量排気可能(特許出願中)
・運転可能範囲大幅拡大

■ピボット軸受型
・軽ガスに対する高排気性能、クリーンな超高真空
・永久磁石/ピボット軸受採用で低振動、低騒音、オイルフリー
・軸受油の交換不要、摩擦部無しで長寿命・メンテナンス不要

その他

スペック、仕様の詳細に関しましては、メーカーHPをご参照ください。
(株)島津製作所│ターボ分子ポンプ

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