スピードフロー(PEM制御スパッタ)

概要

反応性スパッタリングは高度に不安定なプロセスとして広く知られ、制御が困難とされています。ターゲット表面は微量なガス量の違いにより金属状態から完全反応状態へと高速に推移することがスパッタリングプロセスを不安定にし、成膜速度が大きく変化してしまう事になります。
 
一般的な解決策としてはターゲット表面を常に完全反応状態(表面が反応ガスによって完全に化合物化している状態)にしてプロセスを行う事があげられます。しかし完全に反応した化合物で覆われたターゲット表面は反応していない金属状態に比べスパッタリングレートが低くなる事から、望ましい状態とは言えません。より良い解決方法としては、プラズマを監視し、その変動に応じて反応ガス量を高速調整するフィードバック制御であり、これによりターゲット表面を金属から化合物の間の遷移領域に維持する事を可能にする事です。
 
反応性スパッタリングをフィードバック制御にて制御することよりスパッタリングレートの改善、複数のガス導入系(マルチゾーン)をリアルタイム制御する事による均一性の改善および正確なプロセスの監視等を行うことが可能になります。
 
Speedfloは最も先進的な反応性スパッタリングプロセスコントローラであり、上記の解決策を提供するだけでなく、反応性スパッタリングを制御する為の多くの有益な機能を備えています。
 

特長

高い信頼性と堅牢性
Speedfloのハードウェアおよびソフトウェアはプロセス現場からの要求に応じて進化してきました。
Gencoa社の熟練した技術者により全てのSpeedfloは組立てられており出荷前の厳しい品質検査に合格した物を出荷しています。
 
導入サポート
Gencoa社の蓄積したプロセスノウハウを駆使し、リモートアシスタントからオンサイトサポートまで、お客様に合わせた多様なサポート体制を提供しています。
 
高い汎用性
Speedfloはお客様の多様な要求事項に対応する為に、多様なセンサー、入出力および通信オプションを備えています。
 
継続する進化
Speedfloは反応性スパッタリング制御技術においてマーケットを先導する事を目的とし日々進化を継続しています。新しい技術を積極的に取込み常に開発を継続する事で機能向上を図り、お客様にとってより有益なコントローラを提供する事を目指しています。

その他

詳細については下記メーカーHPをご参照ください。
Gencoa社│スピードフロー

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