ロータリーマグネトロンカソード

概要

Gencoa社は新しく小型ロータリーカソード、GRS(Gencoa Rotatable System)を開発しました。
この小型ロータリーカソードは他社製のロータリーカソードとは異なり独創的なデザインを採用しており(特許申請中)、Gencoa社製矩形マグネトロンのスペースと同じになっており、既存の矩形マグネトロンをロータリーマグネトロンに置き換える事が可能です。
GRS75は開発初期より既存の矩形プレーナマグネトロンとの置き換えが出来る様配慮して開発を行い、エンドブロックの小型化により、同じスペースで同じ長さのターゲットを使用し置き換え後も同等の成膜均一性が実現できる様になっています。

特長

ターゲット外径75mmφから100mmφまで同じエンドブロックにて対応可能
最適化された磁場設計によりターゲット使用効率の最大化およびターゲット面の清浄化を実現
3/4インチ外径チューブを使用し高い冷却水量を実現
デュアルマグネトロンには低インピーダンスプラズママグネットオプション適用可能
バランスまたはアンバランスマグネットデザインを用意
プロセス安定化およびプラズマ制御の為のアクティブアノード組合わせ可能
アクティブアノードには反応ガス導入および成膜均一性制御の為のガス導入機構内蔵可能
小型でもハイパワー容量、高速メタライジングに最適
現地プロセスサポートまたはプロセス調整サポート対応可能
小スペースに取付け可能。既存矩形プレーナマグネトロンとの置き換え可能
70%以上のターゲット消費効率、ドッグボーン式ターゲットでは85%以上
短時間で容易なターゲット交換
ボンディングターゲットまたはモノブロックターゲット対応可能
ターゲット材料コストの低減を実現可能
 
Gencoa社はGRS75を含め、SCI社のエンドブロックを使用した152mm外径ロータリーマグネトロン、75mm 外径のGRS75および100mm外径のGRS75の3種類のロータリーマグネトロンを用意しています。
 
GenSys75デュアルまたはマルティプル
GRS75デュアルロータリーマグネトロンは220mmの開口幅が有れば取付ける事が可能です。
また、3つ、4つ、それ以上のマグネトロンを並べて組合せ、大面積の静止成膜にも最適です。

その他

詳細については下記メーカーHPをご参照ください。
Gencoa社

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